技術(shù)參數(shù)：

設(shè)備結(jié)構(gòu)介紹：

該設(shè)備由真空室、真空機(jī)組和電氣系統(tǒng)組成

1. 真空室

圓形形腔體，側(cè)部抽氣，正面開門。不銹鋼材質(zhì)，配 DN60 觀察窗（含防污擋板）、預(yù)抽接口、充氣接口； 內(nèi)部有底板、蒸發(fā)源等；

2. 真空系統(tǒng)及進(jìn)氣

采用 110L 分子泵+4L 旋片式機(jī)械泵。采用真空波紋管連接，配有復(fù)合式數(shù)顯真空測(cè)量儀表。

3. 電氣系統(tǒng)

電氣系統(tǒng)包括真空機(jī)組控制、蒸發(fā)與烘烤控制、真空測(cè)量控制等部分組成。有安全互鎖機(jī)構(gòu)，有效防止誤操作發(fā)生。系統(tǒng)配有 1 套蒸發(fā)電源，數(shù)顯。

4. 膜厚測(cè)量裝置：采用石英晶振膜厚儀及水冷探頭一套（選配）。