智能勻膠機(jī)是一種先進(jìn)的半導(dǎo)體制程設(shè)備，主要用于在晶圓表面均勻涂覆光刻膠。隨著微電子技術(shù)的不斷發(fā)展，對(duì)半導(dǎo)體制程的要求越來(lái)越高，因此在半導(dǎo)體制造過(guò)程中扮演著舉足輕重的角色。
1.真空吸附：采用真空吸附技術(shù)，將晶圓固定在工作臺(tái)上，確保晶圓在涂覆過(guò)程中不會(huì)發(fā)生位移。
2.旋轉(zhuǎn)涂覆：通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)的涂覆頭，將光刻膠均勻地涂覆在晶圓表面。涂覆頭的轉(zhuǎn)速可以根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整，以滿(mǎn)足不同厚度的光刻膠涂覆需求。
3.控制精度：采用先進(jìn)的控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)涂覆過(guò)程的精確控制。通過(guò)對(duì)涂覆頭的位置、速度等參數(shù)的實(shí)時(shí)監(jiān)控和調(diào)整，確保光刻膠的均勻性和一致性。
4.自動(dòng)清洗：具有自動(dòng)清洗功能，可以在涂覆完成后自動(dòng)清洗涂覆頭，保證設(shè)備的清潔度和使用壽命。
特點(diǎn)：
1.高精度：采用先進(jìn)的控制系統(tǒng)和精密的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，實(shí)現(xiàn)對(duì)涂覆過(guò)程的精確控制，確保光刻膠的均勻性和一致性。
2.高效率：采用高速旋轉(zhuǎn)的涂覆頭和優(yōu)化的工藝參數(shù)，大大提高了光刻膠的涂覆速度，滿(mǎn)足了大規(guī)模生產(chǎn)的需求。
3.操作簡(jiǎn)便：采用人機(jī)界面友好的操作面板，操作簡(jiǎn)便。同時(shí)，系統(tǒng)具有自動(dòng)編程功能，可根據(jù)圖紙自動(dòng)生成加工程序，簡(jiǎn)化了操作過(guò)程。
4.穩(wěn)定性高：采用高剛性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和先進(jìn)的運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)，確保設(shè)備在高速運(yùn)行過(guò)程中的穩(wěn)定性和可靠性。
智能勻膠機(jī)的應(yīng)用領(lǐng)域：
1.光刻：在晶圓表面涂覆光刻膠，作為掩膜板與光刻機(jī)的光源相互作用，形成所需的圖案。
2.薄膜沉積：在晶圓表面涂覆各種薄膜材料，如金屬、氧化物等，用于制作導(dǎo)電、絕緣等功能層。
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